SIMOX

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	반도체 용어정리 1. RIE 2. SIMOX 3. LOCOS 4. RTA 5. MOCVD 6. LPCVD 7. CMP ♨ 참고 문헌 ♨ SIMO 에칭, 증착법 RIE, 반도체 용어정리,	페이지 5페이지 가격 700원 등록일 2007.10.24 파일종류 한글(hwp) 참고문헌 있음 최근 2주 판매 이력 없음
	고온용 반도체 압력센서의 제조와 특성 SIMOX SOI 웨이퍼를 이용하여 제조하였다. 제조된 압력센서는 다이아프램의 두께가 10 m이었으며 상온에서의 압력감도가 0torr에서 300torr를 기준으로 하였을 때 75 V/V·Torr로서 1torr의 압력차이를 감지할 수 있었다. 또한 압력감도의 온도계수는 -1,7 고온용 반도체 고온용 압력센서의 설계, 압력센서 고온용 압력센서의 제조, 고온용 반도체 압력센서의 제조와 특성,	페이지 7페이지 가격 1,300원 등록일 2002.03.07 파일종류 한글(hwp) 참고문헌 없음 최근 2주 판매 이력 없음