STT-MRAM Pulse-biased

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전문지식 1건

플라즈마를 이용한 STT-MRAM의 식각 특성 향상

모두 대체적으로 향상되는 것을 알 수 있었다. 그 뒤 SEM 장비를 통해 식각 후의 이미지 관찰을 하였는데 이것 또한 Pulse power를 인가하고 기판 온도를 높이고 CO/NH3 가스를 사용하였을 때의 식각 profile이 좋게 나온 것을 알 수 있었다. 마지막으

STT-MRAM Pulse-biased, 플라즈마 식각 식각특성, 플라즈마를 이용한 STT-MRAM의 식각 특성 향상,

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등록일 2014.01.07
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