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Scintillator
방사선이 부딪히면 빛을 발하는 형광 물질. 신틸레이션미터에 사용된다. 무기 신틸레이터 와 유기 신틸레이터가 있다. 전자에는 NaI(Tl), ZnS(Ag), CsI(Tl), LiI(Tl) 등이 있는데, NaI(Tl)이 감마선에 대하여 검출 효율 이 높고, 광전 효과가 크
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세 개의 Electromagnetic lens에 의해 집속되어 Specimen표면에 도달
- 표면에 도달한 electron beam은 secondary electron 발생 수집된 Secondary electron은 Scintillator에서 Light로 변환되고 이 Light는 Photomultiplier에서 Electric signal로 변화 개념
원리
특징......
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및 산소분자를 제거하기 위한 것이다. Specimen chamber가 적절한 진공 수준에 이르렀을 때 Argon과 같은 불활성기체를 100 mtorr정도의 부분 진공상태를 유지할 정도의 유량으로 서서히 chamber속으로 주입시킨다. 1 - 3 kV의 전압을 target (Au/Pd)에 걸어서
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및 시료실은 1.3×10-3Pa이상의 높은 진공으로 배기시켜야 한다. 배기펌프는 유확산펌프(oil diffusion pump)가 많이 사용 된다. 증기압이 낮은 정제된 기름을 가열시켜 유증기를 만든다. 이 증기를 젯트 분사시켜 배기시키는 펌프로 펌프의 외벽은 물
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및 시료실은 1.3×10-3Pa이상의 높은 진공으로 배기시켜야 한다. 배기펌프는 유확산펌프(oil diffusion pump)가 많이 사용 된다. 증기압이 낮은 정제된 기름을 가열시켜 유증기를 만든다. 이 증기를 젯트 분사시켜 배기시키는 펌프로 펌프의 외벽은 물
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