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Electro-Mechanical-System)그 자체 로부터 알 수 있듯이 수 100micron이하의 크기를 갖고(micro), 전기, 전자적인 구동특성을 가지며(electro), 기계적 움직임 또는 성능을 갖는 시스템이라 할 수 있다. 실제로 MEMS의 개념은 기계, 전기, 광학, 열, magnetic, 화학
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electro/basciff/basciff.htm
http://user.chollian.net/%7Ewow7/electro/RSFF/RSFF.htm
http://www.ups.pe.kr/flipflop.html
http://princess.kongju.ac.kr:8080/DigitalMain/dvlec/textbook/chap07/digital07_2.htm
http://archi.chungbuk.ac.kr/multimedia/lecture03/
http://www.happycampus.com/pages/2002/12/06/D115
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Electro Discharge Machining and its application, Proc.
IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Napa Valley, CA, 1990
2) D. Reynaerts et al. : Electro-discharge machining as a silicon micro-manufacturing
technique, part 1 : theory, Sensors & Actuators A, 60, 1997 제1장 개요
1. 방전가공
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mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고
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자와 공학자들이 기술 개발에 한창이다. 현재 전산이 이공계 각계에서 필수적인 기본 기술로 사용되로 있는 것처럼 MEMS 기술도 얼마 후면 모든 분야에 침투할 것으로 보인다. 다시 말해 시장으로서의 규모도 상상을 초월하게 된다. 산업적인
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