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MEMS 공정을 이용 제작
빛을 조절하는 스위치
1인치 내외의 반도체
48~190만 마이크로 미러
16마이크론 미러(0.1hair) Digital LighProcessing(DLP)
DLP의 구조 및 동작원리
DLP 기술의 핵심 DMD
DMD의 구조 및 동작 원리
DMD Fabrication Process
DLP A
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MEMS>
2. MEMS의 재료 및 제조 공정 기술
MEMS재료의 종류에는 폴리이미드(POLYMIDE), Ni-Ti계 형상기억합금, 텅슨텐, 실리콘, 구리, 금, 니켈, AIN세라믹스 등이 있으며, 제조공정기술은 아래와같다
<MEMS 제조공정 기술인 LIGA의 공정순서>
3. MEMS의
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판을 외부업체로부터 납품받아서 제품의 치수에 맞춰 자른다.
② 잘라놓은 철판을 롤 성형 기계에 넣어 둥글게 말아서 양끝을 용접하여 원통형으로 만듬
③ 원통형으로 만든 철판을 나사 산 형태로 만들어 준다.(Bellows)
④ 제품의 Bellows 부분
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Photo Lithography
정 의
PhotoLithography ?
Photo Lithography는 Wafer위에 Photoresist를 도포한 후 Exposure에 의해 Mask를 이용하여 원하는 형상의
Pattern을 형성하는 공정
≪ 그 림 ≫
Photo 공정순서
공정순서
〔Wafer 세정〕
〔표면
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역할.
압력이 높아지면 수축이완을 반복하며 원활하고 안전한 파이프를 설계 할 때 사용.
주요기능 : 소음방지, 진동방지 등 1. 회사소개
2. 제품소개
3. 제공정순서
4. 제물류현황 및 문제점
5. 제최종 선정안
6. 제개선 방안
7. 제Q&A
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