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마이크로 밸브와 같은 미세 유량 제어의 유체 소자에 대한 개발의 필요성이 대두되고 있다.
⇒ 마이크로 밸브나 마이크로 펌프 등의 마이크로 유체 소자를 이용한 미소 영역에서의 유동 제어에 대한 연구가 수행되고 있다. 1. Micro Pump의
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digest, 407 (2003)
[28]
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[30] 1. 서론
2. MEMS
2.1 개요
2.2 활용
- 잉크젯 프린터
- 광섬유
- MEMS에서의 센서
- 마이크로 펌프
3. 기타미세제조기술
3.1 베어링
3.2 혼성집적회로기판
3.3 칸소나노튜브
4. 결론
5. 참고문헌
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MEMS는 마이크로머신이 느끼고 생각하며 운동함
MEMS의 기술은 반도체 칩을 만드는 실리콘
가공기술 에서 시작
실리콘 기판위에 밸브, 모터, 펌프, 기어등의 미세
기계요소 부품을 3차원 구조로 만들기 위함
다양한 가공기술이 개발
21세
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마이크로 우주선, 항공전자, 코팅
참고자료
MEMS and NEMS <CRC PRESS>, Sergey Edward Lyshebski
국가전략산업분석 MEMS <한국과학기술정보연구원>
심층정보분석 MEMS 기술 <한국과학기술정보연구원>
나노기술이 미래를 바꾼다 <김영사>,
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MEMS 란?
이 기술을 말 그대로 전자기계 소자를 육안으로는 보이지 않을 정도로 작은 마이크로 규모로 제작하는 기술
MEMS 의 역사
1960년대 초 실리콘 가공기술에서 시작
미세 기계요소 즉, 밸브, 모터, 펌프 기어
실리콘 기판위에 압력센서
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기본개념과 동작원리
5. Chage Pump (전하펌프)의 기본개념과 동작원리
6. VCO (전압제어 발진기) 기본개념과 동작원리
7. VCDL (전압제어 지연단) 기본개념과 동작원리
8. DLL 구현 및 시물레이션
9. 결론
♦ 참고문헌
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마이크로칩 터크놀로지
[3] 김정욱 외 4명, ‘The BLDC Motor Control for Platform Screen Door\'
[4] 이희중 외 3명, ‘Design of Control System to Drive EMDP(Electric Motor Driven Pump) using Brushless DC Motor’, 항공우주기술 제4권 제1호
[5] 하용봉, ‘Sensorless Brushless DC 모터제
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Micro Lens Array 등을 도광판에 직접 형성시키거나 회절격자를 형성시키는 방법, 홀로그램방법을 이용하는 등 기학광학을 이용하는 기술이 증가하고 있다. 가공방법으로는 Photolithography가 일반적이나 MEMS기술, Stamp기술, 금형 직가공 방법 등 다양
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Micro Lens Array 등을 도광판에 직접 형성시키거나 회절격자를 형성시키는 방법, 홀로그램방법을 이용하는 등 기학광학을 이용하는 기술이 증가하고 있다. 가공방법으로는 Photolithography가 일반적이나 MEMS기술, Stamp기술, 금형 직가공 방법 등 다양
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마이크로시스템 과목을 수강하여 반도체 재료 및 소자, MEMS 시스템에 대해 학습한 후 이를 구현하기 위한 가공법을 배웠습니다.
마이크로시스템 과목에서 ‘아세톤 감지를 위한 반도체식 가스센서 공정 설계’를 주제로 팀 프로젝트를 수행
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마이크로시스템’ 등 반도체 전공 수업을 통해 8대 공정과 MEMS 설계 원리를 학습했으며, ‘아세톤 감지용 가스 센서 공정 설계’ 팀 프로젝트를 통해 실제 반도체 공정 설계를 수행했습니다. RF magnetron sputtering, 열 산화, 산소 환경 조성 등 실
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MEMS( Micro-Electro-Mechanical Systems : 극미세 전자기계 시스템이라고도 하고, 반도체를 만드는 공정과 비슷하게 눈으로 보이지 않은 아주 작은 단계에서 전기소자적인 작용과 기계적인 작용을 동시에 하게 만든 극초소형 시스템을 뜻합니다.)에 적
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