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전문지식 1건

positive pr
BM은 전자선에 의한 마스크 제작에 사용되고 있으며 DUV에도 고감도를 나타낸다. Polyketone은 고전적인 주쇄절단형 감광성 고분자이고 300㎚ 부근에 약한 흡수를 나타내고 자외선에 대하여 PMMA보다는 고감도를 나타낸다. 주쇄절단 반응의 양자수
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  • 등록일 2010.12.13
  • 파일종류 한글(hwp)
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