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\"Tokamaks\" by John Wesson (1997) 1.플라즈마의 여러 가지 의미
(1)그리스어로서의 플라즈마
(2)생물학, 의학에서의 플라즈마
(3)물리학에서의 플라즈마
2.플라즈마의 원리 및 특징
(1)플라즈마
(2)플라즈마의 생
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물리적으로 분리되어 다른 기판에 쌓이게 함으로 박막층이 만들어지게 하는 방법.
대표적으로 2가지 방법이 있다.
1) 스파터링(sputtering)
2) 진공증착(vacuum evaporation) 막 형성공정
1. 막 형성공정은?
2. 화학 기상 증착 (CVD)
3. 물리
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Electron Microscope: SEM)
3.3 주사전자 현미경의 작동원리
4.실험방법
4.1시험편의 준비
4.2 SEM분석
5.광학현미경과 전자현미경의 비교
6. 관찰시 나타나는 3가지 수차
7. 폴리싱의 목적 및 설명
8.에칭의 종류 및 설명
9. 참고자료
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물리학』,인하대학교 출판부, 2001.
David Halliday, Robert Resnick, 『물리학 총론』, 1987, 김종오 역
Arthur Beiser,현대 물리학,교보 문고,1998. 1.실험 제목
2.실험 날짜
3.실험 목적
4.실험 장치 및 부품
5.실험 이론
6.실험 방법
7.예비 고
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및 장치
ㅡTiO2, 진공 스퍼터링 장치, 초음파 세척기, 저항기, 시편세척도구 (비이커, 집게, 아세톤, 에탄올, 증류수 등), 페트리 디시, 진공테이프 등
4. 실험 과정
①글라스세척용 세제를 이용하여 FTO물질이 한면에 코팅된 유리기판의 양쪽면을
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