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받게 되며, 그 얇은 구조상 외부로부터의 응력에 취약할 수밖에 없다. 또한 일반적인 구조재료들은 제조 시 응력이 발생하게 되면 열처리 등을 통해서 응력제거 공정을 거치지만, 박막의 경우는 이런 경우가 드물다.
-intrinsic residual stress & therm
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thin film Transistors”, Appl. Phys. Lett. 93, 123508 (2008)
J. S. Park et al., “Novel ZrInZnO Thin-film Transistor with Excellent Stability”, Advanced Materials, 21, 329-333 (2009)
<신문기사>
은용주, 탄소나노튜브 상용화 지원위한 국제 나노포럼 개최, 아시아경제(www.newsva.co.
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ata/thin-film-intro.pdf
- http://blog.naver.com/four24rang?Redirect=Log&logNo=150007354867
- http://www.kps.or.kr/storage/webzine_uploadfiles/416_article.pdf 1.실험목적
2.실험이론
2-1) 진공증착
2-2) PVD 와 CVD의 차이점
3.실험장치 및 시약조사
4. 실험방법
5.참고문헌
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thin-film transistors using semiconductor nanowires and nanoribbons”, Nature 425, 18 Sep. 2003, pp.274-278.
[8] www.hitachi.co.jp/Prod/mu-chip
[9] F. Schmidt, O. Sczesny, L. Reindl, V. Magori: "Remote Sensing of Physikal Parameters by Means of Passive Surface Acoustic Wave Devices", Proc. IEEE Ultra
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Ⅰ. 실험 목적 : 차세대 디스플레이가 계속 출현하면서, AMOLED와 TFT-LCD의 성능도 같이 향상되었다. 그러면서 TFT소자에도 advanced된 성능과 저가격의 소자가 요구되었다. 그 중 Oxide와 Organic 반도체가 가장 주목 받고 있다. Oxide TFT를 만들 수 있는
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