특수가공 실험(실습) 보고서 반도체 현상 공정

소개글

특수가공 실험(실습) 보고서 반도체 현상 공정에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 반도체공정실습실에서 사용한 실험실습 기자재 정보와 각각의 사용법(간략하게)
2. 특수가공 수업에서의 실습내용 및 역할 계획
3. 실험(실습)일지
4. 실험(실습) 결과물(실습과정을 확인할 수 있는 자료 및 사진)

본문내용

현상이 제대로 되지 않았을 수도 있다는 우려도 생겼습니다.
수작업으로 현상액을 만들다보니 현상액의 농도 조절이 쉽지 않아 적절한 농도를 맞추는 게 쉽지 않아보입니다.
소감
PR코팅을 벗겨내는 현상과정이 끝난 이후, 실제로 동판 위의 패턴을 만져봤을 때 오돌오돌한 부분이 만져지면서 현상이 제대로 됐음을 느낄 수 있었으며, 또 색으로 명암구분이 가능해져 육안으로도 현상이 됐음을 판단할 수 있었습니다.
기타
김진영-실습자, 최종 보고서 작성.
장원준-실습과정 기록 및 작성, 검토.
안재성-보고서 작성 및 추가, 검토.
김경호-사진 촬영, 보고서 검토
실 습 결 과 물
탄산나트륨과 물을 섞으며 적당한 농도가 될 때까지 희석시키거나 진하게 만듬.
*디벨로프 장비를 이용해서 자동으로 하기도 하나, 사정상 수작업.
현상액이 담긴 용기에 동판을 넣고 흔들고 문지르면서 PR코팅을 선택적으로 제거.(본 실습에선 네거티브 방식)
PR 코팅이 선택적으로 제거된 이후의 동판.
표면을 만져보면 오돌오돌한 부분이 느껴지며, 동판의 색(명암)으로 육안 확인도 가능.
작업이 완료된 동판을 약 5분간 베이킹.
특수가공
현상(디벨로프)
2학년 A반 3조
제출일 : 2016. 5. 23

키워드

반도체,   특수가공,   반도체현상공정,   반도체레포트