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1×10-3 ~ 1×10-8 torr
Ultra high vacuum less than 1×10-8 torr
1-5. 기체의 평균 자유행성
• The average distance a particle moves before it bumps another particle is the mean free path
• 실온상태의 공기에 대한 자유행정 제1장 박막의 정의
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자유거리가 짧으므로 기판과 과녁 사이의 거리가 가까워야 한다. 글로방전 스퍼터링은 스퍼터링된 원자와 기체의 충돌이 많아 증착률이 낮고, 방전 전압이 수 kV로 높아야 하며, 때로는 방전이 불안정하다. 또한 전자가 양극의 박막과 충돌하
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제공 26
4. 행정서비스의 개선 27
가. 행정절차의 간소화 27
나. 행성시스템의 효율성 제고 28
Ⅵ. 한계 29
1. 규모가 작은 도시국가 29
2. 우리와 상이한 정치적 환경 29
3. 외국에 개방적인 사회적 분위기 30
Ⅶ. 결론 31
참고문헌 32
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박막의 두께 d는 이륙각 θ와 다음의 관계에 있다.
l_f / l_s = R·[exp{d/(λsinθ)} - 1]
여기서 R은 기질 원소의 원자량
W_s
, 박막 원소의 원자량
W_f
, 박막의 밀도
ρ_f
, 기질의 밀도
ρ_s
, 박막에서의 전자의 평균 자유 행로
l_f
, 기질에서의 전자의
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박막을 형성하는 방법이다.
이는 고온으로 물질을 가열하여 증기화된 물질의 평균 자유 거리를 고진공으로 증가시켜 기판위에 박막을 형성하는 방법으로 고진공 하에서 증착하므로 불순물에 의한 영향을 줄일 수 있으며 막의 미세 결함을
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