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광학현미경과 제2세대인 전자현미경 다음의 제3세대 현미경으로 자리 잡아가고 있다.
②물질의 표면특성
④STM
⑤AFM
①.Contact AFM
②.Non-Contact AFM (NC-AFM)
③.Intermittent-contact AFM
⑥캔틸레버(Cantilevers)
⑦LFM
⑦FMM
⑧PDM
⑧MFM
⑨SPM의 응용
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SPM의 종류와 원리
- 광학현미경과 전자현미경 원자현미경의 특성비교
- 원자현미경의 측정모드
- Ra와 RMS값의 정의
- 측정샘플 : 제조한 AU Colloid 및 AAO 표준샘플
- FTIR의 간략한 소개
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광학현미경
FIELD SEM
Conforcal
SPM(AFM)
측 정 환 경
대기중
진공
대기중
대기중, 용액내, 진공
시 료
액체
고체
액체, 고체
액체, 고체
x, y 축 분해능
z 축 분해능
1.0㎛, 1.0㎛
0
5nm, 5nm
0
170nm
500nm
0.1nm
0.01nm
배 율
1 2x103배
10 106배
10 104배
25 108배
시료 전
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반발력과 인력
전기적인 특성과 무관하므로 도체, 반도체 및 부도체등 모든 시료의 분석에 범용적으로 적용
1.SPM 이란?
2.SPM의 원리
STM(Scanning Tunneling Microscope)
AFM(Atomic Force Microscope)
3.SPM…(others)
4.Application of SPM
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spm/spm.asp
4) http://webhost.kist.re.kr/Users/VSS577/userupload
5) http://tipp.sunchon.ac.kr/pds/pds1_files/SPM%20마무리.hwp
6) http://spintronics.inha.ac.kr/lecturenote/surface022/AFM.ppt
7) http://www.cheric.org/ippage/d/ipdata/2004/03/file/d200403-1501.pdf
8) http://pem.kaist.ac.kr/research/AFMk
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