UBM UBM Sputtering

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	Unbalanced Magnetron(UBM) Sputtering Unbalanced Magnetron(UBM) Sputtering 1. UBM Sputtering - UBM sputtering 장치는 Magnetron sputtering 장치를 개선 하여 내부 자석과 외부 자석의 자장의 세기를 다르게 설계한 장치이며, 자장이 내부와 외부 사이를 벗어나므로 전자가 기판의 표면 쪽으로 향 Unbalanced Magnetron sputtering, UBM UBM Sputtering, Unbalanced Magnetron(UBM) Sputtering,	페이지 4페이지 가격 1,300원 등록일 2012.12.13 파일종류 워드(doc) 참고문헌 없음 최근 2주 판매 이력 없음
	박막증착법의 원리 및 특징 Sputtering) 3) 이온플레이팅(ion plating) (2) 일반적인 스퍼터링, magnetron 스퍼터링 및 UBM(unbalanced magnetron) 스퍼터링에 대해서 설명 및 비교하여라. (3) 박막의 특성평가 방법들의 종류와 그 원리 및 얻게 되는 정보에 대해 간단히 박막증착법 원자층 화학박막증착법, 화학기상증착 pvd, 박막증착법의 원리 및 특징,	페이지 11페이지 가격 2,000원 등록일 2006.11.26 파일종류 아크로벳(pdf) 참고문헌 없음 최근 2주 판매 이력 없음