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grain market system,
dynamic solution, time delay
Student Number : 90507-801
감사의 글
첫 박사학위를 수여 받은지도 벌써 여러 해가 지나갔다. 이제 그 이전에 시작했던 과정을 마무리 짓고자 뒤늦게 시작한 두 번째 학위 논문을 완성하는데 부족함이 많아 여
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grain 내의 결함 집중 감소, 막 내부 응력 감소
Figure . Results for a series of TiN films deposited at 300℃ under various substrate bias voltages(Vs). (a) Growth rate vs. bias. (b) Ion current density vs. bias. (c) Ion-to-Ti-atom ratio vs. bias. (d) Resputtering rate vs. bias
5. Process control
(1) ga
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