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2004
◈ 박제균, Biochip 기술 및 응용분야, 전기학회지 제49권 제2호
◈ 하권수, R&D동향, 단백질 칩의 연구개발 동향, 강원대학교 의과대학
◈ 하권수, 단백질 칩(Protein Chip System)의 원리와 응용, 기초과학지원연구소 생체 고분자분석팀, 2000 Ⅰ.
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방법
(1) 화학적 및 전기화학적 방법
① 음극 전해 성막법
② 무전극 또는 무전기 성막법
③ 양극 산화법
④ CVD (chemical vapor deposition)
⑤ 액상 에피탁시법
⑥ Langmuir-Bliogett막 형성법
⑦ 흡착방법
(2) 진공 증착
① 물리적 기초
② 실험 기
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29441 □ 실험목적
□ 실험원리
● 광학현미경(LM, Light Microscope)
● 전자현미경 (EM, Electron Microscope)
● 원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)
● STM과 AFM
● AFM을 이용한 고분자 연구
● 차원 및 배율
● 압전 세라믹 트랜스듀서
●
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25
3.1.3 스핀코팅 공정···························27
3.2 분석법·································29
3.2.1 표면 단자 측정법 (α-step)·················29
3.2.2 원자 현미경 (AFM)·············
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다.
<그림 1-20.1 PLD 기본원리>
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 없음
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