|
이후로는 Etching이 더 이상 진행하지 않을것이라고 예상한다.
6. 참고문헌
반도체 공정실험 Dry Etching 수업자료 PDF
화학용어사전 - 화학용어사전 편찬회, 윤창주, 2011. 1. 15, 일진사
반도체 공정플라즈마의 현황과 전망 한국물리학회 , 장홍영
바
|
|
|
1. 실험 목적
2. 실험 방법
1) Cleaning, Oxidation, Photolithography 공정을 마친 wafer 시료를 준비한다.
2) 시료의 표면을 FESEM으로 찍은 후 표면의 감광제 모형인 마스크 패턴을 확인한다.
(식각 전 패턴 사이즈 측정)
3) ICP 장비의 반응 Chamber에 시료를
|
|
|
Cleaning한 후 Chamber를 내림)
(2)Process STB(Process Stand by)
(3)Process
(4)Boat Out
(5)System Stb
3. Photo Lithography
(1) Spin Coater 사용법
(2) Photo Resist(PR 용액 접합)
(3) Mask Aligner 사용방법
(4) PR Develop
4.RIE 장비 사용 (Dry Etching)
5. PVD(Physical Vapor Deposition)
|
|
|
실험실 http://imal.cnu.ac.kr
-서울대학교 컴퓨터 전자공학부 nml.snu.ac.kr
-목원대학교 전자공학과 홈페이지
-<박막 프로세스의 기초> ,김원찬 저 ,피어슨에듀코리아, 2000년 1.박막공정
1.1. 박막공정의 정의
1.2. 박막공정의 과정
2. 세척
|
|
|
실험은 반도체 제조공정에 대한 전반적인 이해를 위한 실험으로 우리는 이번에 그 제조공정의 일부만을 선택하여 실험하였다. 우리가 한 실험은 세정→ 증착→ PR도포→ Pre bake→ 노광→ 현상 →Rinse→ Post bake→ Etching 과정을 하였다.
증착과
|
|
 |
LED의 전반적인 설명과
LED의 제조공정방법에 대한 내용이 수록되어 있습니다. 1. LED의 실험배경 및 목적
2. LED란 무엇인가?
3. LED의 특징 및 응용분야
4. LED PKG제조공정 및 성능 비교 실험
5. 실험 일정
6. 참고자료
|
|
|
실험 결과 및 고찰
Ⅲ. 실리콘 주형의 제작과 분광기의 제작
1. 반응성 이온 식각 공정(RIE;Reactiva Ion Etching Process)
2. UV 몰딩(UV-molding) 공정을 이용한 분광기의 제작
3. 분광기(Spectroscopic component)의 특성 고찰
Ⅳ. 결 론
Ⅴ. 참고 문헌
|
|
|
첫째 저는 반도체 및LED 공정에 대한 이해도가 높습니다.
② Cleaning/Dry Etching 단위 공정 Engineer로써 단위 공정 Set up
및 공정불량 개선(SEM/FIB이용) , CI , 신규공법 적용 및 Max. Capa.활동
둘째 저는 반도체/LED 신규 장비에 대한 공정 Set up 경험
|
|
 |
실험하였다는 것을 알게 되었습니다. 그래서 주변 온도를 낮춰 실험 한 결과 수율을 75%까지 끌어올렸습니다.
->3개월이내 [반도체쪽이면좋을듯]
->메모리구조?
->나의 견해가 들어갈 것
->관심분야쪽
그리고 Cleaning공정에서 반도체 세
|
|
 |
공정 변수를 도출하였습니다. 이를 통해 기존 대비 이동도를 30% 향상시키는 결과를 도출하였으며, 연구 논문을 학술대회에서 발표하는 성과를 거두었습니다.
이러한 경험을 바탕으로, 저는 삼성전자의 반도체 공정설계 직무에서 차세대 반
|
|
 |
공정에서는 예상치 못한 불량이 발생할 수 있으며, 이를 해결하기 위해서는 데이터 기반의 분석과 협업이 필수적입니다.
- 본인의 강점이 삼성전자 반도체 공정기술 직무에서 어떻게 발휘될 수 있을까요?
공정 최적화 연구 경험과 실험 설계
|
|
 |
언어’로 풀어내는 것도 공정설계자의 중요한 역할임을 체감하게 해준 계기였습니다. 삼성전자 내 협업 역시 이러한 소통 기반 설계가 필요하다고 생각합니다. 2025 삼성전자 DS부문 메모리사업부_반도체공정설계 면접 예상 질문 및 답변
|
|
메뉴펼치기
