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반도체 또는 절연물 등을 재료로 삼아 금속박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체(誘電體)박막 ·집적회로 ·초전도(超電導)박막 등이 진공 증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기 도금법, 기체 또는 액체
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▶ 유기박막트랜지스터 (OTFT) 정의
⊙ 정의
- 반도체 물질이 기존의 무기물질인 규소(Si)가 아닌 공액 구조를 가지는 유기물.
유기 반도체(OSC, organic semiconductor)와 더불어 절연막 등에 유기물이 사용됨.
궁극적으로 전극과 보호막(passivation)
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박막의 질량, 로 치환하면 = = 가 되며 결국 가 되어 질량을 환산하면 막두께를 알 수 있다. 공진주파수로는 부근이 많이 사용되며 예로서 수정자 두께 로 하여 가 측정되면, 증착막은 , 원자수는 가 측정될 수 있다.
1. 전기 저항 측정법
막의
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및 어닐링(Annealing)
박막 증착의 기술 및 공정
- 개요
1. 기화법 (Evaporation)
2. 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition)
(1) CVD 장치
(2) 박막 성장 메커니즘
3. 스퍼터 증착(Sputter deposition)
(1) 스퍼터링의 정의
(2).스퍼터링의 종류
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Ⅲ-Ⅴ족 반도체 태양전지 기술(1/4)
[Si 태양전지와 InGaP/InGaAs/Ge 태양전지 흡수스펙트럼 비교]
Band Gap 크기 순으로 적층된 각각의 셀
* 가장 밴드갭이 큰 물질이 Top 셀
* Top 셀이 짧은 파장부분 스펙트럼 흡수
직렬연결 구조 – 전류는 제한
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