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(1)진공이란?
진공(vacuum)이란 원래 라틴어로 ‘vacua'즉 기체(물질)가 없는 공 간의 상태를 의미하여 이런 이상적인 진공 상태일 때 기압(압력)은 0이 된다. 하지만 실제로 이렇게 완전한 진공 상태의 제작은 불가능하다. 우주 공간의 경우도
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박막증착효과를 얻을 수 있을 것이다.
또한 XRD분석결과 우리가 실험한 Au의 XRD데이터가 JCPDS와 비교해보면, 약간의 오차가 있었다. 그 이유로 코팅시에 Au에 약간의 백금이 첨가가되었기 때문이다.
Ⅳ. 참고문헌
1. Richard C. Jaeger, 반도체공정개
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알루미늄 증기 입자는 알루미늄 원자가 한 개에서 수십 개 모여 있는 것이다. 알루미늄 증기는 웨이퍼에 충돌하고 냉각되어 부착한다.
박막으로 되기까지의 과정을 설명해보자, 주전자에 물을 넣고 끓이는 경우, 힘차게 수증기가 뿜어져 나오
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알루미늄을 넣는다.
2)Thermal evaporator chamber 안에 (1)에서 준비된 기판과 시료를 넣는다.
3) RP(rotary pump)와 DP(diffusion pump)을 사용하여 chamber 내의 진공도를 10-5～10-6 torr로 유지시킨다.
4) 박막증착이 가능한 진공도에 도달하게 되면 power supply에 전
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알루미늄 코팅을 잘 입혀졌다.
6.논의 및 검토
진공의 개념과 진공 상태에서의 실험
장점 : 간단한 장치구성으로 다양한 물질을 도금가능하고 기초실험에 적합함
단점 : 박막과 기판면의 접착이 약하고 박막 제작시 불순물이 흡입되는 경우가
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박막 실험에서 정확성을 높이는 데 실질적인 기여를 할 수 있습니다.
5. 입사 후 배우고 싶은 기술이나 장비는 무엇인가요?
ICP, TEM과 같은 고도 분석 장비 활용과 함께, 전해액 조건을 조절하는 전기화학 실험 기술입니다. 알루미늄박의 계면
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