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전자비임의 입사각도: 각도가 클수록 상호작용하는 부피가 작다.
다음 그림은 전자비임이 니켈(z=28)시편의 표면과 직각인 방향으로 20,000V (20kV)로 입사될 때, 상호작용하는 부피를 나타낸 것이다.
이러한 상호작용 및 그 결과가 탐지되고 이미
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전자비임이 물질에 입사되면 여러가지 현상이 발생하여 여러가지 전자들이 시료에서 방출되고 X-선도 방출이 되는데, 이중에서 시편의 얇은 부분을 투과한 전자들을 이용한 기기가 투과전자현미경이다.
광학현미경에서는 영상을 형성할 때
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전자비임이 시편내로 깊게 침투하고, 시편 내부에서 발생한 2차전자들이 시편 바깥으로 탈출 불가능하다. 작은 입사각에서는전자빔의 침투 깊이가 낮고2차전자들은 증가한다.
2차전자 detector에 대한 시편부위의 topologyEx) 둥글게 생긴 물체가
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전자비임이 시편과 충돌할 때 발생하는 고전압의 정전하를 방지하기 위하여 적절히 접지되도록 고정된 다. 대부분의 SEM은 시편을 회전시키거나 x, y, z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 조절이 가능하며 특정 detector에 의해서 전자들의 취합이
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전자비임이 시편과 충돌할 때 발생하는 고전압의 정전하를 방지하기 위하여 적절히 접지되도록 고정된 다. 대부분의 SEM은 시편을 회전시키거나 x, y, z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 조절이 가능하며 특정 detector에 의해서 전자들의 취합이
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