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제되어 불순물이 증발체에 확신해 들어가는 것을 막아준다. EH한 도가니가 전자빔에 의해서 녹는 것을 막아주는 역할을 한다.
e-beam evaporation 기술의 응용
전자빔 증착의 응용의 직접적인 이유는 고진공에서의 증착이므로 고순도의 물질을 빠
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빔에 의한 진공 증착기 기본구조
(3) Evaporation source
Evaporation source의 대표적인 것은 저항가열식 source와 전자빔 source이다. 먼저 저항가열식 source에서 재료를 증발시키려면 증발원와 충분한 증기압이 발생되도록 증발원를 가열해 줄 수 있는 장
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전자빔에 의한 진공증착법, 스퍼터링에 의한 방법 ion plating법 액상으로 제작하는 방법 등이 사용되고있다. 전자빔 증착법은 전기장과 자기장으로 가속되어지는 전자빔을 MgO 시료에 충돌시켜 재료를 가열 및 증발시켜 MgO 보호막을 형성시키는
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증발 증착법(순수저항이용)
4.3.2. 진공증착법-열 증발 증착법(유도열이용)
4.3.3. 진공증착법-전자빔 증발 증착법
4.4. 스퍼터링- 음극스퍼터링(cathode sputtering)
4.4.1. 직류스퍼터링(DC sputtering)
4.4.2. 고주파 스퍼터링(RF sputtering)
4.4.3. 반응
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전자를 구멍 뚫린 양극(+)을 향해 방출하게 되며, 이 양극에서 나온 전자는 전자빔(beam)인 전자총이 되어 양극으로 된 증발물질을 때려서 증발시키게 된다. 이때의 전자의 에너지는 아크전압과 아크전력에 따라 다르나, 아크전력이 5kW일 때는 5
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