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재료 개발 및 사업추진에 역점을 두기로 했다. LG화학은 유기절연막 사업을 추진하고 있고 제일모직은 컬러레지스트와 포토레지스트 및 배향막 등 디스플레이용 화학재료 사업을 올해부터 크게 강화할 예정이다. ▪ Photolithography의 정
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포토리소그래피
포토레지스트
포토레지스트용 신나
현상액
린스액
레지스트박리제
기판표면개질제
감광성폴리머를 yd제에 녹인액
크실렌, 지방족계탄화수소
(네가티브용)지방족계탄화수소
(포지티브용)유기아민계혼합액, 규산소다, 인산소
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재료를 얇은 막으로 증착해 회로 내 소자를 작동할 수 있게 한다. 일곱 번째, 전기적 특성 검사가 이루어지는 EDS 공정은 \'웨이퍼 테스트 공정\'이라고도 한다. 마지막 여덟 번째는 패키징과 테스트 공정이다. 이때 웨이퍼 위의 반도체 칩(다이)
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포토레지스트 재료, 엑시머 제이저 광원 등의 주변재료는 어디까지 광 노광기술의 연명을 서포트할 수 있을까?
미세화, 독특한 구조의 콘택트 홀, 메탈 패턴 등에 드라이에칭 기술이 대응할 수 있을까?
등이 향후의 과제가 된다. 리소그래피
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리소그래피(lithography)
1) 리소그래피란?
2) 리소그래피 기술의 개요
3) 리소그래피 장치의 분류
4) 리소그래피 방법
① Photoresist coat (PR 코팅)
② Soft Bake(소프트 베이크)
③ Photo exposure(노광)
④ Develop(현상)
⑤ Hard bake(하드 베이크)
5) 향후의
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