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식각(Etching) 이란?
노광 공정을 통해 형성된 감광제 모형(pattern)들을 마스크로 하고, 마스크 아래에 있는 부분과 외부로 노출된 부분들 사이에 화학 반응이 전혀 다르게 함으로써 마스크로 보호되지 않는 부분들이 공정이 진행됨에 따라 떨
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Wet etching?
액상의 식각 용액(보통 HF solution)에 웨이퍼를
넣어, 화학적 반응에 의해 표면을 식각해 내는 방법.
단점: 미세 가공이 어려움
식각의 불균일성
감광막의 lift-off
under cut 등등
Dry etching 이란?
일반적으로 플
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XPS의 정의(X선 광전자 분광기)
photons이 물질에 입사될 때, 원자나 분자로부터 방출된 전자들의 에너지를 측정하여 재료의 조성, 불순물의 분석 그리고 Sputtering을 통하여 깊이 방향 분포 분석, 화학 결합 상태를 알 수 있는 표면 분석 장비
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화학 기상 증착 ⑭금속배선
조립 및 검사
⑮웨이퍼 자동 선별 ⑯웨이퍼 절단
⑰칩 접착 ⑱금(金) 선 연결 ⑲성형
⑳최종 검사
DEFINITION OF PHOTOLITHOGRAPHY
；빛의 직진성을 이용한 형상 성형 기법
『일정한 빛을,
[
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포항공대, 산업기술연구원(RIST), 방사
광가속기, 포항제철연구소등 첨단과학 시설은 확보하고 있어 교육 및, 첨단산업의 중심도시이기도 함.
바다와 산의 조화가 이루어져 천혜의 풍부한 관광자원을 지니고 있는 경주, 대구 경북지역의 관광
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화학 등 각종 산업
2) 울산
석유화학, 자동차, 조선, 비료 등 기간산업
3) 마산
양조, 금속, 기계, 섬유(수출자유지역)
4) 포항
제철, 제강, 기계 등 기간 산업
5) 기타
창원(종합기계), 진해(화학비료), 거제(조선), 충무, 사천, 통영(수산가공물)
3.
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화학분야 나노기술
1) Nanometer Consortium(www.nano.ftf.lth.se)
2) Nanochemistry(www.nanochem.kth.se)
3. 스웨덴 나노기술 이니셔티브
1) 스웨덴에서는 미국 NNI활동의 영향으로 스웨덴 나노기술에 대한 워크숍을 개최
2) 워크샵에서 나온 의견을 바탕으로 ‘나
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화학공업지역으로 국내 전체 실물경제의 약 12%선을 차지하는 거대 경제권역으로 동남권의 중심일 뿐 아니라, 환태평양의 거점지역으로 부상하고 있다. 조선자동차석유화학 등 중화학공업을 지속적으로 발전시키고 새로운 기술개발을 위해
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서적, 고석찬 외 8인』, 네이버 지식백과 ,
『생명과학 이론과 응용, 라이프 사이언스, 이길재』, 두산 세계백과사전
『미생물학, 아카데미 서적, 최호형』,
포항공대 생명과학과 세포생물학 실험
(http://www.postech.ac.kr/class/ls209/exp_1.html)
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SiO2 식각
식각 용액은 주로 HF과 NH4F의 혼합액을 사용
화학 반응식은 SiO2 + 4HF ↔ SiF4 + 2H2O
종말점 확인은 산화막의 친수성과 실리콘의 척수성
을 이용하여 현미경으로 물방울 형성을 확인하면 알
수 있다.
Si3N4 식각
식각 용액은 H3P
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