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수 : 3*1014분자/cm3
일반적으로 공업적으로 사용하는 플라즈마
- 만개/백만개의 분자나 원자중에 한 개가 이온화 된 플라즈마란 무엇인가?
플라즈마의 생성
플라즈마의 특성
Chamber안에서의 DC플라즈마
Chamber안에서의 RF플라즈마
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마개로 사용하는 장치를 탠덤미러라 한다. 1. 플라즈마
2. 플라즈마의 생성
3. 주변의 플라즈마 상태
4. 플라즈마의 응용
1)플라즈마디스플레이 [plasma display]
2)플라즈마발광법
3)플라즈마 엔진 [plasma engine]
4)플라스마의 핵융합 연구
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플라즈마 표시장치 (PDP)가 점하리라 예상된다. 플라즈마가 내는 빛을 이용한 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)는 산업전반에 폭넓게 사용되고 있는데 대표적인 것이 PDP TV이다. 1. 플라즈마란 무엇인가
2. 플라즈마의 생성
3. 플라즈
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Plasma Display Panel)에 대한 연구가 수행되고 있고, 장기적으로는 21세기에 들어 요구되는 에너지, 신재료, 반도체 소자 제조, 환경 분야 등에서 플라즈마의 이용이 점점 더 늘어날 전망으로 있으며, 이에 따라 다양한 플라즈마의 생성 및 제어, 측
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가되어져 있다.
1) 스퍼터링
스퍼터링에서는 ion등을 전계로 가속시켜 대상물질에 입사시키면, 대상물질에서 이온등이 방출되고, 이것들을 기판에 증착시키거나 코팅시키는 증착방법이다.
우선 플라즈마를 생성하기 위해 아르곤(Ar)가스 분위
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