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넣으면서 결정을 성장시키는 방법이다. 한 예로 반도체 레이저 다이오드(laser diode; LD)가 이 방법을 사용하여 GaAs 결정 위에 AlGaAs를 연속 성장시킴으로써 제작되고 있다. LPE 작동원리
VPE 작동원리
VPE 장단점
BME 작동원리
BME 장단점
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VPE), 분자선 에피택시(molecular beam epitaxy, MBE)등이 있으며, 최근에는 서로 결합된 방법도 많이 사용된다.
1.LPE (Liquid Phase Epitaxi)
결정재료가 녹아 있는 포화용액을 기판과 접촉시켜서 결정을 성장시키는 것으로, *에피택시
1.LPE
2.VPE
3.M
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VPE)
○ 기간 : 7년
○ 제1단계 : 에너지절약 클린 카
- 연비가 같은 레벨에서의 유독배기가스 감소를 연구테마로 르노, RVI, 푸조의 자동차회사를 중심으로 국립과학연구소, 프랑스 석유연구소, 국립우주연구소 등의 공공연구기관이 적극적으로
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VPE) 프로그램을 적용시켜서 아이들 스스로 계획해보고 평가할 수 있는 기회를 주고 나또한 아이들에게 더 관심을 가지고 질높은 상호작용과 개인별 지도를 할 수 있도록 했으면 좋겠다. 「유아 놀이지도」
유아 때부터 시작하는 자유
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널리 이용 1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및 설명
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