thin-oxide 지역 위에 p+ 지역이 없으면 이 지역이 n+확산이거나 n-thinox 임을 나타낸다. p-well 내의 n-thinox는 n+ 확산이나 도선을 정의한다(그림 3e). n-substrate내의 n+ 확산으로서 ohmic 접촉을 만들 수 있다. 이 단계 다음에 칩의 표면을 SiO2층으로 덮는
Conventionally diffused p-well
- 고온과 긴 성장 시간을 필요로한다.
Implanted p-well
열 확산에의해 형성된 우물에비해 저온으로 단시간에 우물을 형성할 수 있다.
측면 확산을 줄이고 소자밀도 증가
하부 근처에서 높은 도핑농도를 갖기 때문에