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겨 담가둔다.
'디아이워터'로 중화시키기 위해서이다.
③실리콘 웨이퍼위에 남아있는 물기를 제거하기위해 '질소건'으로 제거해준다.
‘질소건’을 사용할때는 실리콘 웨이퍼에 수직으로 바람을 불어주어서 웨이퍼가 날아가지 않도록 주의
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Al 원자가 기판위에 증착하게 된다.
우리는 80mA, 50sccm의 Ar gas로 10분동안 Al을 증착하였다.
3. I-V 특성 측정
위의 조건에서처럼 Si기판위에 증착된 Al의 I-V 특성을 측정을 통해서 이미 우리가 알고 있는 이론적인 값들과 실제적인 측정값이 얼마
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Al증착 PET/CPP
용기 CPP/ /CPP
푸팅, 젤리, 샐러드
식육가공품, 수산가공품
로켓모양
투명 차단
PVDC 단체
축육햄, 축육소시지,
어육햄소시지
* ONy : 연신 nylon, CPP : 미연신 polypropylene, PET : polyester,
PVDC : 염화 vinylidene, EVOH : ethylene-초산 vinyl 공중합체
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던 테이프위에도 Al이 증착되어 노란색이었던 테이프의 표면이 은백색으로 금속적 광택을 띄는 것을 볼 수 있었다.
이러한 사항으로 PVD는 Polymer로 이루어진 테이프의 표면에서도 증착이 될 수 있다는 것을 실험적으로 확인할 수 있었고, 또한
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Al 박막이 증착될 때 미세구조 형성에 관여하여 면저항 최소화하는 역할을 하여 투명전극의 광 투과도 특성 향상에 기여한다.
하지만, OMO 유연투명전극의 면저항과 광 투과도는 Trade off 관계이기 때문에 1) 극박 두께의 연속박막 형태의 금속층
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al., "An Access-Transistor-Free(0T/1R) Non-volatile Resistance Random Access Memory(PRAM) Using a Novel Threshold Switching, Self-Rectifying Chalcogenide Device". 2003 IEDM Technical Digest, 2004
박재근, “Nano SIO Process Lab.”,<http://asmddc.hanyang.ac.kr/research/image/img19.jpg>
박재근 · 백
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