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electronic - 이형수
TFT-LCD Reaserch Center, KyungHee Univ. - 장 진 LTPS 란?
LTPS 의 제조법
ELA Process & 특징
Poly-Si TFT-LCD의 응용
HTPS, LTPS 의 비교 및 특성
LTPS Process comparison
LTPS 관련 기기
LTPS 장점
LTPS의 기술 전망
Application & Product
※ References ※
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(Doping)-열확산법
21. 불순물 주입공정(Doping)-이온주입법
22. Annealing
23. Poly-Si 형성 공정
24. 금속막 형성공정
25. PVD-Evaporation
26. PVD-Sputtering
27. 평탄화 공정(Planarization)
28. 평탄화 방법(Spin On Glass, CMP)
29. 세정 공정(Cleaning)
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lt;4
CHF3, CF4+H2
C2F6, C3F8, C4F8
AL합금
Cl계
Br계
CCl4, BCl3, SiCl4, Cl2, CCl2F2, CCl3F
Br2,BBr3
5.2.2.2 반도체 화학약품
표 5에 반도체 공정중 사용되는 약품들을 열거해 놓았다.
공정
용도
사용약품
세정
유기물 일반제거
레지스트잔사제거
이온장 오염물 제거
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Poly-Si TFT-LCD의 응용‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥·‥‥‥‥‥‥16
a-Si와 LTPS의 비교 및 특성‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥16
(6-1) 비정질 실리콘 TFT LCD
(6-2) 저온 폴리 실리콘 TFT LCD
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LTPS Process
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