|
택비 모두 대체적으로 향상되는 것을 알 수 있었다. 그 뒤 SEM 장비를 통해 식각 후의 이미지 관찰을 하였는데 이것 또한 Pulse power를 인가하고 기판 온도를 높이고 CO/NH3 가스를 사용하였을 때의 식각 profile이 좋게 나온 것을 알 수 있었다. 마지
|
|
|
STT-MRAM 개발을 포함한 차세대메모리 원천 기술 확보를 위해서 대학, 기업체, 연구소 중심으로 연구 진행 중임
2-2. 국내외 시장 현황
(1) 국내외 시장 규모 및 수출입 현황
(단위: US$, 백만불)
년도
(2008년)
현재년도
( 2009 년)
개발 종료후 1년
( 201
|
|
메뉴펼치기
