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I. Low k Material
(1) What Is the Low k Material?
- Dielectric constant(유전상수) k 가 낮은 물질
▶ Dielectric constant(κ) – 재료의 Electric Polarization 에 대한 물리적 척도
Ex) Vacuum (or Air) : k=1 , SiO2 : k=4, Diamond : k=5.5-6.6
▶ 전기적 분극(Electric Polarization) –
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material 로 생각하면 될 것이다.
2) 유전물질의 응용
일반적으로 반도체에 있어서 dielectric material은 크게 두 가지 경우에 있어서 사용되고 있다.
그 하나가 capacitor dielectric material (High-k 응용)이고 나머지가 interlevel dielectric material (ILD:Low-k 응용)
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K. Kim, “Research of Incombustible Low Vacuum Insulating Material Using Silica Gel,” Ministry of Commerce, Industry and Energy, 3-13 (2005).
2. J. Y. Yoon, I. H. Song, D. S. Park, H. D. Kim, “Technology Trend of Porous Material,” Eng. & Mat., 15 [3] 98-108 (2003).
3. J. Y. Yun, H. D. Kim, C. H. Park
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Reference
http://blog.naver.com/alstnek34?Redirect=Log&logNo=70022899586
http://cafe.naver.com/risks.cafe?iframe_url=/ArticleRead.nhn%3Farticleid=303
폐수처리공학Ⅱ / 고광백 외 12명/ 2004, 9, 1/ p.1013 ~ 1033 1) Purpose
2) Introduction
3) Material
4) Method
5) Result
6) Discussion
7) Refe
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만든다. 또한, 대장균의 존재 여부는 분변에 의한 오염유무가 지표가 되며, 수질검사 등에 종종 응용되는 수단으로 위생학상 중요하다. 1. Introduction
2. Material
3. Method
4. Result
5. Discussion
6. Reference
7. Question
8. 4종 균주 특성 조사
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