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전자빔의 궤도 반경 및 전자빔의 에너지를 작게한 리소그래피 전용의 소형
싱크로트론이 완성됨 X-ray Lithography
x-ray lithography의 기본원리
x-ray 리소그래피 주요특징
마스크의 투과도
회절효과
싱크로트론 방사광
장점
단점
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리소그래피는 반드시 진공 내에서 진행되어야 한다. 또 카메라는 반사 렌즈 성분을 사용해야만 하고, 반사경들과 공마스크 부분은 다층 코팅 되어야만 하는 어려움이 있다.
3.X-ray Lithography (X선 리소그라피)
X-rayLithograph는 반도체 웨이퍼 위에
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리소그래피과정은 현대소자가 더욱 소형화 되면서 한계에 다다랐다. 더 짧은 파장의 자외선소스와 특별한 보충기술은 작은영역의 한계를 확장시켜왔고 X-ray를 이용하는 리소그래피가 곧 상용화 될 것이라 본다.
5. 박막증착
바깥으로 소자구
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방사선사 영상정보학 국가고시 2차 정리집입니다 - CR, DR, PACS
CR
CR이란?
. Screen/Film system ? Image Plate 사용
. 영상판(IP)에 축적된 X-ray 신호에 laser beam을 주사하여 전기신호로 변환
. Digital 영상처리하여 저장매체에 기록
. EDR
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x-ray에 비하여 자유로움)
Floru-Huggins interaction parameter인 카이값 또한 계산 가능함
small angle(SANS)를 wide angle보다 더 많이 사용 [고분자블렌드 정리]
- Contents -
1. 이상적인 고분자 블렌드 system
① immiscible system
② miscible system
③ partial
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기술과 탄소튜브를 이용한 나노센서에 대해서 발표를 하였습니다. 과목을 수강하면서 웨이퍼의 공정과정 및 Lithography 기술에 대해서 공부를 하였습니다. 그 결과 저에게는 Photomask 및 웨이퍼에 대한 조금의 지식을 쌓게 되었습니다.
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