(professional자료)반도체 CMP공정_MALEMA SENSOR 개조 제안서 &CMP AMAT PEDESTAL & LOAD CUP POSITION SENSOR 개조건

소개글

(professional자료)반도체 CMP공정_MALEMA SENSOR 개조 제안서 &CMP AMAT PEDESTAL & LOAD CUPPOSITION SENSOR 개조건에 대한 보고서 자료입니다.

목차

CONCEPT
기존 Linear Sensor 동작 및 문제점
변경 Sensor 동작 방법
변경 Sensor Signal 구성
개조 전후 비교

MALEMA SENSOR 개조 제안서
문제점 및 대책 CONCEPT
주요 개조 내용
개발일정
별첨자료 - LEVITRONIX PUMP, 외관 사이즈 및 형상
별첨자료 - LEVITRONIX PUMP, 구조 및 특징
Levitronix 자기 부상 베어링리스 모터 기술
벌크 케미컬 공급 시스템 (BCD)

본문내용

professional자료)반도체 CMP공정,_MALEMA SENSOR 개조 제안서 & MALEMA SENSOR 개조 제안서
완벽한 공정의 관리는 웨이퍼와 직접적으로 접촉하는 유체에서부터 시작됩니다. 반도체의 소형화에 따라, 벌크 케미컬의 순도와 공급 시스템에 대한 요구사항이 크게 늘어나고 있습니다. 가압 탱크는 펌프와는 다르게 수격 현상으로 인한 파티클 생성 및 다양한 안전 문제에 대한 우려가 있습니다. 모든 반도체 제조용 펌프 시스템을 통틀어, Levitronix® 펌프는 기계적 베어링이 없어 파티클을 발생시키지 않으며, 이를 통하여 고청정 Wet 공정의 산업 표준이 되었습니다.
MALEMA FLOW SENSOR 내 FLOW 양을 조절하는 PITCH TUBE 복원력

문제로 주기적 교체
SENSOR 전단의 SLURRY 압력 HUNTING에 대하여 대응 어려움
주요부품 PINCH VALVE의 비정기적 고장 발생
Linear Sensor와 달리 오동작 비율 극히 적음.

Sensor 오동작 비율 감소로 생산성 향상.
Position별 개별 Sensor 교체 가능하여 원가 절감.
Sensor 교체 작업시간 단축으로 공수 절감.

Pedestal 및 Load Cup에 각각의 Position Sensor인 Linear Sensor 사용.
*. 위치에 따른 Output Voltage로 Position을 감지하는 방식.
*. 보통 위치센서로 디지털 방식을 사용하는 광센서에 비하여 Linear Sensor는 Analog In/Out 방식.
*. 오동작으로 인한 Error가 빈번히 발생하며 불량발생시 협소한 공간으로 센서 교체작업 공수가 많이 발생 함.

Up/Down시 Sensor에 의한 오동작을 최소화.
기존의 Signal 체계를 유지하면서 Up/Down Digital Sensing을 System이 인식 할 수 있도록 별개의 D/A Controller를 사용.
Linear Sensor 이외는 기존대로 사용하며 Position별 Sensor 설치.
Sensor 전원 및 Controller의 전원은 별개의 전원을 사용.
(단 기존 Linear Sensor로 인가되던 전압은 유지)
Sensor Bracket 설치.

키워드

professional자료,   반도체 CMP공정,   개조개선,   선행개발,   반도체장비선행기술개발,   ,   MALEMA SENSOR 개조 제안서,   CMP AMAT PEDESTAL & LOAD CUPPOSITION SENSOR 개조건