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sensor for high temperature applications.
Fig. 3 Front-side circuit part of the piezoresistive
pressure sensor.
Fig. 4 Cross section of the anisotropically etched
diaphragm.
Fig. 5 Top view photomicrograph of the packaged
pressure sensor. 1. 서론
2. 고온용 압력센서의 설계
3. 고온용 압
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압력센서인 경우 사람이 아닌 다른 외부요인에 의해서 센서가 작동 될 수도 있다.
2)문제점에 대한 해결방안
압력이 가해지는 압력센서 부근에 고탄력소재를 부착하여 강한 압력에도 견뎌낼 수 있게끔 처음부터 설계한다. 외부요인이 온도를
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압력 센서는 이러한 압전효과를 이용하여 입력 압력에 대응된 전지적 출력을 얻을 수 있도록 설계된 것으로, 압전체들은 외부의 전원 없이 사용되기도 하나 이 경우에는 출력신호가 적기 때문에 증폭이 필수 적이며 대부분 경우에는 외부전
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센서에 의한 가속도 측정
6-5 각각 측정 한 가속도 값들 비교 및 오차 원인 분석
7. MEMS 센서를 이용한 응용사례 한 가지 조사
7-1 MEMS 센서의 적용 현황 및 응용분야
7-2 압력센서
7-3 가속도 센서
7-4 각속도 센서 (angular velocity sensor/yaw rate s
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( 온도변화 100℃ ↔ -30℃, 20 cycles, 기간 10일 )
6. 스마트 마이크로 압력센서 적용 기술
- 스마트 압력센서 응용 제품 : 소형 휴대 맥진기 설계완료 ( RF I/F, PC I/F)
- 유체 LPF mesh를 통한 오프셋 압력 자동조절이 되는 차압센서[ 특허출원 중 ]
- 센서
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