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던 테이프위에도 Al이 증착되어 노란색이었던 테이프의 표면이 은백색으로 금속적 광택을 띄는 것을 볼 수 있었다.
이러한 사항으로 PVD는 Polymer로 이루어진 테이프의 표면에서도 증착이 될 수 있다는 것을 실험적으로 확인할 수 있었고, 또한
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(1)진공이란?
진공(vacuum)이란 원래 라틴어로 ‘vacua'즉 기체(물질)가 없는 공 간의 상태를 의미하여 이런 이상적인 진공 상태일 때 기압(압력)은 0이 된다. 하지만 실제로 이렇게 완전한 진공 상태의 제작은 불가능하다. 우주 공간의 경우도
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증착 장비
박막 분석 장비
Thermal Evaporator
4-Point Probe
Stylus(Alpha Step 500)
4. 실험방법
(1) 전자저울을 이용하여 0.1g, 0.2g의 알루미늄을 준비한다.
(2) 칭량된 알루미늄을 텅스텐 boat 위에 올려놓는다.
(3) SiO2가 증착된 wafer위에 shadow mask를 밀착시켜 고
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증착전류 : 70~75A
증착시간 13분
슬라이드 글라스에 알루미늄 코팅을 잘 입혀졌다.
6.논의 및 검토
진공의 개념과 진공 상태에서의 실험
장점 : 간단한 장치구성으로 다양한 물질을 도금가능하고 기초실험에 적합함
단점 : 박막과 기판면의 접착
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증착기의 챔버 내의 압력상태 확인 후 (Vent Valve Open) 승강장치를 열고 챔버내부를 깨끗하게 청소하고 오염방지를 위하여 알루미늄 호일로 내부를 감쌌다.
4. 막두께를 측정하는 Quartz(수정) X-TAL의 상태를 확인한다.
5. 유리 기판을 깨끗이 닦은
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