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▶ Descriptions :
Chiller is an automatic regulator controlling the temperature inside the wafer etching chamber. It is imperative semiconductor manufacturing equipment to produce high quality wafers
▶ Characteristics :
1) Temp. Range : -50℃ ~ +180℃
2) Temp. Stability : ±0.1℃
3) Safety
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장비의 사용목적과 쓰임을 안다
각 공정단계를 간편화 정밀화 함으로써 더욱 더 좋은 Quality 를 갖는 반도체 소자를 만들 수 있도록 연구 1. Objective
2. LED?
3. Theory Explanation
4. Fabrication process of LED
5. Equipment
6. Summary
7. Reference
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LED 패키징 기술 입문, 신무환 김재필 공저, 북스힐
나. 최신 LED 활용실기, 박문수 정종욱 공저, 갈채
다. 고출력 LED 및 고체광원 조명기술, 김래현 외 6인 공저, 아진
라. http://100.naver.com/100.nhn?docid=70838
마. Semiconductor Physics and Devices 3rd edition, Don
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재료와 현상들이 계속 개발되고 있으며, 트랜지스터 ·다이오드 ·집적회로소자 ·텔레비전수상관의 형광막 ·열전자 방출체 ·전자식 카메라 등 첨단 전자산업 부문에 매우 광범하게 응용되고 있다. 반도체 [ 半導體, semiconductor ]란?
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Semiconductor
-www.analog.com
Analog Device Corporation
-www.intel.com
Intel
-www.sec.co.kr
Samsung Electronic Coporation
-www.gensemi.com
General Semiconductor
-www.st.com
SGS Thomson
-www.atmel.com
ATMEL
-www.fairchildsemi.com
Fairchild Semiconductor
-www.harris.com Ⅰ.서론
1.작품 배경
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