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목차
E-beam Evaporation is…
Principle of E-beam Evaporation
Vacuum
Attention (E-beam Evaporation)
BOC Edwards A306 Evaporator
Melting, Boiling Points
Principle of E-beam Evaporation
Vacuum
Attention (E-beam Evaporation)
BOC Edwards A306 Evaporator
Melting, Boiling Points
본문내용
E-beam을 이용한 증착법은 증착재료의 용융점이 넓은 경우에 사용된다.
(예:W, Nb, Si)
Electron Beam Source인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여, 증착 재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로 증착 재료가 가열되어 증발한다.
이때 윗부분에 위치한 기판에 박막이 형성된다. Electron beam
(예:W, Nb, Si)
Electron Beam Source인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여, 증착 재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로 증착 재료가 가열되어 증발한다.
이때 윗부분에 위치한 기판에 박막이 형성된다. Electron beam
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- 페이지수8페이지
- 등록일2010.05.11
- 저작시기2010.5
- 파일형식파워포인트(ppt)
- 자료번호#609521
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