|
제되어 불순물이 증발체에 확신해 들어가는 것을 막아준다. EH한 도가니가 전자빔에 의해서 녹는 것을 막아주는 역할을 한다.
e-beam evaporation 기술의 응용
전자빔 증착의 응용의 직접적인 이유는 고진공에서의 증착이므로 고순도의 물질을 빠
|
- 페이지 5페이지
- 가격 900원
- 등록일 2005.10.24
- 파일종류 한글(hwp)
- 참고문헌 있음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
E-beam을 이용한 증착법은 증착재료의 용융점이 넓은 경우에 사용된다.
(예:W, Nb, Si)
Electron Beam Source인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여, 증착 재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로 증
|
- 페이지 8페이지
- 가격 1,500원
- 등록일 2010.05.11
- 파일종류 피피티(ppt)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
FIB (Focus Ion Beam) 의 개요
Focus Ion Beam장치는 집속 빔을 시료 표면에 주사해서 발생하는 2차
이온등을 검출해서 현미경상을 관찰 또는 시료 표면을 가공하는 장치
입니다.
광원 (빛의 발생원)
Focus Ion Beam장치에서는 Ion Gun, Ion Source라고 부르는
|
- 페이지 9페이지
- 가격 1,000원
- 등록일 2007.05.30
- 파일종류 피피티(ppt)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
전자빔총에서 나온 에너지에 의해
액상으로 변함
코팅재의 표면이 기체상으로 승화
되면서 증발
진공의 공간안을 직선적인 비행으로
기판에 증착
기판을 히터로 가열하여 증착성 강화 E-Beam Evaporation 개요
Evaporation 이란?
Electron Be
|
- 페이지 17페이지
- 가격 2,000원
- 등록일 2010.06.25
- 파일종류 피피티(ppt)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
Beam 증착 가능 물질 및 제한물질에 대한 조사
열에 의해 증착하고자 하는 재료를 증발시켜 기판에 증착시키는 방법으로서 이는 고진공(10-5 torr 이하)하에서 수냉 도가니를 사용하므로 저항가열식의 단점인 오염이 비교적 적고 고에너지를 가
|
- 페이지 3페이지
- 가격 1,000원
- 등록일 2009.10.13
- 파일종류 한글(hwp)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|