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전문지식 62건

E-Beam 증착 가능 물질 및 제한물질에 대한 조사 열에 의해 증착하고자 하는 재료를 증발시켜 기판에 증착시키는 방법으로서 이는 고진공(10-5 torr 이하)하에서 수냉 도가니를 사용하므로 저항가열식의 단점인 오염이 비교적 적고 고에너지를 가
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  • 등록일 2009.10.13
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PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경을 요구한다. 먼저 PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법(PLD, Pulsed Laser
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  • 등록일 2011.01.19
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2-1.박막제작방법 2-2. 물리적 증착법 (PVD, Physical Vapor Deposition) 2-3.진공 증착법(Vacuum Evaporation) 2-4. 피복층 조직 2-5. 진공 증착법의 특징 2-6. 적용 범위 및 응용 3.실험장치 및 시약 4. 실험방법 4. 분석 5. 결과 및 토의
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  • 등록일 2011.11.06
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터보 분자 펌프 9) 확산펌프 10) 이젝타 펌프 11) 흡착펌프 12) 이온펌프 13) 게터펌프 14) 승화펌프 15) 저온 냉각 펌프 ● PVD(Physical Vapor Deposition) 1. 코팅방법 ● CVD(Chemical Vapor Deposition) • CVD와 PVD의 장단점
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  • 등록일 2004.05.17
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증착 후 기계가공이나 연마를 할 필요가 없다.CVD법에 비해 낮은 증착온도를 필요로 하는 장점이 있다. 그리고 다른방법으로는 얻을 수 없는 합금계 박막을 얻을 수 있다. PEPVD(plasma enhanced physical vapor deposition) PVD의 원리와 같이 물리적인 힘을
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