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진공이 미리10Torr정도 걸려있는 소형 용기에 고진공을 걸때 사용된다. 펌프의 용량을 증대시키기 위해 이온 펌프를 흡착펌프나 게터펌프와 같이 연결하여 사용하기도 한다.
⑬ 게터펌프
게터펌프는 사실상 펌프라기 보다는 가스 제거제라고
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펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어펌프
4) 피스톤 펌프
5) 다이아 후렘 펌프
6) 루츠 펌프
7) 수봉식 펌프
8) 터보 분자 펌프
9) 확산펌프
10) 이젝타 펌프
11) 흡착펌프
12) 이온펌프
13) 게터펌프
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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성능을 갖고 있기 때문에, 장시간 사용 후에는 냉각면의 온도를 올려 응축 가스를 제거하는 재 활성화가 필요하다. 1.기름 회전 펌프
2.기름 확산 펌프
3.흡착 펌프
4.터보 분자 펌프
5.이온펌프
6.게터펌프
7.크라이오펌프
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pump (기계적인 크라이오 펌프)
turbomolecular pump (터보 분자펌프)
다) 초고진공 펌프 1x10-8 torr 이하
titanium sublimation pump (타이타늄 승화 펌프)
ion pump (이온 펌프)
Non-evaporable getter pump (비증발성 게터 펌프)
3.1 저 중진공에서 사용되는 진공펌프
3.2 기
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