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B. D. Cullity.
Crystal Bank(Web page) - KOSEF, 부산대학교
http://blog.naver.com/rhpys?Redirect=Log&logNo=50044333334
http://tpal.skku.ac.kr/equip_cfubm.htm (TPAL박막 공및응용연구실)
psel.snu.ac.kr/psel/files/lecture/sputter
http://thinfilm.snu.ac.kr/flowable.htm 1. Single crystal bulk
1.1
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박막공학의 기초, 최시영, 일진사 1. 박막(Thin film)
1) 박막이란?
2) 박막형성기술의 개요
3) 박막형성기술
4) 박막의 제조방법
(1) 화학적 및 전기화학적 방법
① 음극 전해 성막법
② 무전극 또는 무전기 성막법
③ 양극 산화법
④ CVD (ch
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박막을 증착시킨다.
5) 증착이 완료되면 power supply 및 RP와 DP의 전원 스위치를 내리고, N2 gas를 chamber 내부로 흘려 압력을 외부의 대기압 상태로 만든 후 기판을 꺼낸다.
4.참고문헌
- 네이버 백과사전
- http://www.seongwooinst.com/data/thin-film-intro.pdf
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film fed growth(EFG)
5. Skull melting법
6. Verneuil법
7. LEC(Liquid Encapsulated Czochralski)
8. Hydrothremal method
9. VGF(Vertical Gradient Freeze)
2. Analysis method
Growth of single crystal thin film
-1. Hot Wall Epitaxy(HWE method)
2. CVD(Chemical vapor deposition)
3. Sputt
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제반 변수 (변인 통제)
5-2. 이중 블렌드의 벌크 상 도 및 상 거동 논의
5-3. 블록공중합체계의 나노 구조 도출 및 물성-구조 상관관계 논의
5-3-1. 블록공중합체계의 나노 구조 도출
5-3-2. 물성-구조 상관관계 논의
6. 결론
7. 참고문헌
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