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레지스트를 임프린트하기 위해서는 고압 (10-30 bar 정도)이 필요하기 때문에 기 제작된 하단의 나노 구조물을 파손시킬 소지가 있고, 불투명한 스탬프는 다층화 정렬작업에 불리하게 작용한다. 이에 반하여, UV-NIL은 1996년 Haisma 등[3]에 의하여
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단축시킬 수 있고, 더불어 반응성이온식각공정 중 발생하는 패턴의 선폭 변형을 줄일 수 있다.
도면
효과
포토리소그래피기술과 나노임프린트리소그래피 기술을 조합하여 리소그래피 공정을 진행하므로써 잔류층이 없는 미세 선폭의 포토레
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되고 발전되어 ‘나노’ 강국이 되었으면 하는 바람을 가져 본다.
<< 관련 그림 >>
그림 4. UV-NIL 작업 공정 그림 5. multi-dispensing 공정 그림 6. multi-dispensing 공정 결과
그림 1. 탄소나노 튜브 그림 2. 연잎 효과 그림 3. 나노 로봇
<< 참
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다하도록 노력하여야 합니다. 그리고 후반부의 Printed Electronics를 통해서는 반도체 제작 기술에 있어 학기 초에 강연 되었던 나노 임프린트 리소그래피외에도 인쇄 기술을 이용한 반도체 제작이 가능함을 알게 되는 기회가 되었습니다.
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aperture) : 방사되는 전자의 통로 전자빔 노광기술이란?
전자빔 노광기술 시스템 구성
전자빔 노광 기술의 장단점
임프린트란?
임프린트 공정
나노 임프린트
(a) Thermal-type(NIL)
(b) UV-NIL
임프린트 기술의 장단점
질의 및 응답
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나노임프린트 리소그래피 (박찬익, 정훈의, 서갑양 / 서울
대학교 기계항공공학부)
[3] Unconventional methods for forming nanopattern (M E Stewart, M J Motala, Jimin
Yao2, L B Thompson, and R G Nuzzo)
[4] http://www.cheric.org/board/view.php?code=f05&seq=11402&page=7
[5] 제6판 고체전
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of a Carbon Nanotube-
Lyotropic Liquid Crystal Composite, Ben-Gurion University of the Negev(20
05)
3. 한국고분자학회, 분산성이 향상된 고분자형 탄소나노튜브의 개발, (2002)
4. DPI solution techlaboratory, Develop
ment of Carbon Nanotube Transparent Electrode for Display, 13-26(2005)
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Nanofluids, 설비공학논문집 제17권 제9호, pp.849-854, (2005)
5. Il-Hyun Baek, Joog-He Lee, Wang-Suk Cha* and Ju-Pyong Kim**, \"Efficiency Enhancement Technology in Heat Exchanger Using Nano Particele\"
6. NSF, “National Nanotechnology Initiative”, (2000)
7. 과학기술부, 2005년도 나노기술발전
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나노테크널러지(Nano-Technology), 유비쿼터스(Ubiquitous)와 같은 일련의 기술들이 그 개념대로 실현된다면 정보격차문제의 해결에 질적인 도약을 가능하게 할 것이다.
이 모든 것을 원활하게 수행하기 위해서 추진체계의 정비 및 개선, 이의 보장을
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Nano SIO Process Lab.”,<http://asmddc.hanyang.ac.kr/research/image/img19.jpg>
박재근 · 백운규. <PoRAN 최근 연구 동향 및 향후 개발 방향>. 물리학과 첨단기술 (특집 차세대 메모리 편) 2005. 9.
박재근, <차세대 비휘발성 메모리 소자>. 특집 차세대 메
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나노(nano)는 미래의 반도체 분야에서는 없어서는 안 될 중요한 역할을 하며, 앞으로도 더 많은 연구가 필요하다는 생각을 갖게 되면서 나노와 박막에 흥미를 갖게 되었고, 졸업 후 이 분야에 대한 연구를 꼭 해보고 싶었습니다. 좀 더 전문적인
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나노과학기술의 연구분야 204
다. 소재의 분류 206
? 나노와 관련 있는 신소재학 기본정보 209
가. 신소재종류 209
나. 신소재의 개념과 국가정책과제 209
? 나노공학의 기본적 학문개념 213
가. Nano 214
나. 역사 214
다. 개발 난이도 215
라. 나
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Nano technology 분야를 더 심화 있게 연구하고 싶습니다. 입자의 크기, 모양, 조성 및 유전성에 크게 의존하는 나노입자의 광학적 특성에 대하여 금속 나노입자의 설계 및 제조기술, 나노입자의 광학적 특성 분석기술 등을 연구해보고 싶습니다.
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