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측정된 데이타의 처리 또한 Computer에 의한 평균두께계산과 측정된 두께의 3차원 형상 표시가 가능하게 되어 시편의 두께형상을 보다 정확하게 볼 수 있게하였다. 측정정확도 또한 기존의 마이크로미터 방식에비하여 10배 정도의 향상을 가져
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존재할 수 있는 확률은 전자가 투 과하는 장벽의 폭(MOS에서는 산화층의 두께)에 영향을 받는다. 따라서 전자는 삼각형 장벽대신 사 다리꼴 모양의 포텐셜장벽을 통과하여 지나간다.
◆Fowler Nordheim Tunneling (FN Tunneling)
직접터널링과 유사한 파
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5
175.0
185
10.0
45.05
5
175
175
175.0
183
8.0
45.10
평 균
174.4
182
7.0
45.052
표준편차
0.223607
0.547723
0.707107
0.031937
두께 표준오차
마이크로미터로 잰 얇은 판의 두께 :
6. 실험 결과
마이크로미터로 잰 얇은 판의 두께 :
자와 거울 사이 거리
얇은 판의 두께
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4
0.5
0.45
303.34
5
0.45
0.5
245.73
6
0.5
0.55
248.21
7
0.4
0.45
242.70
8
0.5
0.5
273.04
9
0.45
0.5
245.73
10
0.45
0.55
223.39
평균값
0.43
0.49
262.86
위 네 번의 실험 결과 세 번째 실험이 가장 오차가 적은 범위 내에서 박막의 두께가 나왔다.
그리고, 네 가지 실험으로 평균
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두께의 간섭 무늬가 저배율의 현미경으로 봤을 때 반파장씩 분리되어 나타나다. 박막 경계에 코팅된 두 반사 Al막은 충분히 높은 반사계수를 갖고, 간격이 작다면, 간섭 무늬는 매우 예리하게 나타날 것이다. 무늬는 계단까지 평행으로 가다가
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