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반도체공학 - 박광순, 여진경 역. 학문사. 1997
[5] http://www.ece.utep.edu/research/webedl/cdte/Fabrication/index.htm
[6] http://lsm.rutgers.edu/facilities_ALD.shtml
[7] chap2. 전계효과 트랜지스터(FET) - 디스플레이공학 이준신교수님 강의자료 1. 실험목적 (Purpose)
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실험들을 클린룸에서 진행하는지도 느끼게 되었습니다. 실험을 진행하는 동안 거의 모든 웨이퍼에서 오염물이 발견 되었기 때문입니다. 졸업을 하고 취업을 하더라도 반도체 공정을 하면 정말 정교하고 정밀하게 작업에 임해야겠다고 생각
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가 두꺼운 것이 요구되면 상당히 긴 시간이 소요된다.
※ Reference
- Introduction to solid state physics,7th edition (Charles Kittle)
- http://smdl.snu.ac.kr/Lecture/semi_process/data/ch101.ppt
- http://home.mokwon.ac.kr/
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두께에 해당하는 셈이다. 이 장치의 감도는 10-9 g/㎠까지 되고, 이는 철의 경우 한 개층의 1/100에 해당하는 양이다. 온도를 ± 0.01°C 내에서 안정시키면 10-12 g/㎠의 감도를 얻을 수 있다.
9. 결론
이번 실험은 반도체 제조공정에 대한 전반적인 이
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실험한 Au의 XRD데이터가 JCPDS와 비교해보면, 약간의 오차가 있었다. 그 이유로 코팅시에 Au에 약간의 백금이 첨가가되었기 때문이다.
Ⅳ. 참고문헌
1. Richard C. Jaeger, 반도체공정개론, 교보문고, 2004년, 163-175
2. 이형직외 2명, 박막프로세스의 기초
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