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막구성을 여러 가지의 기판에 coat한 분광반사율 곡선을 그림 8에 표시한다.
3. 실험 장치
진공 증착기 1대, 기판이 Glass 1개, 코팅할 매질
4. 실험 방법
(단층 무반사 박막)
다음과 같은 증착기를 이용하여 단층 박막 증착을 한다. 실험시 모든 방
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막을 사용하여 광학계가 느끼는 기판 단차를 줄여주는 방법이 이용되고 있다.
다른 한편으로는, 무반사막(ARC, Anti-Reflecting Coating/Layer)의 사용이 필수 요소로 등장하고 있다. 레이아웃에 있어서도, 인접 패턴간의 상호 작용에 의한 패터닝 왜곡
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무반사 코팅을 실시 해주게 된다. 이러한 무반사 코팅은 코팅해 주는 막의 수에 따라 단층 코팅인 경우에는 막의 안정성과 견고성, 막을 형성하는 물질의 굴절률 등의 문제로 MgF2가 주로 사용되며, 이는 다시 그 표면색에 따라서 마젠타, 앰버
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막을 설계할 수 있다. 그러나 그 반면에 전체의 층수가 증가하고, 막두께도 λ/4의 배수가 되지 않지 때문에 제작이 어렵게 된다.
3. 실험방법
1주차(단층 무반사박막)
1주차에는 다음과 같은 증착기를 이용하여 MgF단층 박막 증착을 한다. 실험시
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막 실험을 할 때, 거품에 비춰진 상은 어떠한 원리로 형성되었을까?
4) 나비의 날개, 비눗물 막과 같은 빛의 간섭 외에 다양한 빛의 간섭 예를 탐구해 보자.
※참고문헌
Halliday 외 일반물리학(개정7판), 경상대 외 6개 대학 물리학과 공역, 범한
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