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박막의 손상과 오염, 그리고 버니어 게이지를 읽는 과정에서 눈으로 측정하기 때문에 정확한 범위를 측정하는데 대한 오차등에 의해서 오차가 좀 발생했지만 우리의 실험기구로 나노의 범위를 측정할수 있었다는데 큰 의미가 있는 실험이었
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측정 장치를 이용한 대면적 YBa2Cu3O7-δ 박막의 고주파 표면저항의 균일성 연구” 건국대학교 석사학위 청구 논문(2002).
[13] Sang Young Lee et al., Effects of the two-gap nature on the microwave conductivity of polycrystalline MgB2 films with a critical temperature of 39K, Phys. Rev
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가 두꺼운 것이 요구되면 상당히 긴 시간이 소요된다.
※ Reference
- Introduction to solid state physics,7th edition (Charles Kittle)
- http://smdl.snu.ac.kr/Lecture/semi_process/data/ch101.ppt
- http://home.mokwon.ac.kr/
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박막의 두께는 다음과 같다.
t = DELTAL / L · lambda /2
여기서,
lambda
는 단생광의 파장이다. 이 장치의 정밀도는 ±0.8㎚로 5㎚의 두께를 측정 가능하다.
운동량 수송을 사용한 증착률의 모니터링
이 경우에 모니터링을 위해 적용한 성격은 변위가
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두께가 나왔다.
그리고, 네 가지 실험으로 평균값으로 박막의 두께를 예측하면, 264.71nm가 나온다.
6. 검토 및 토의
이번 실험은 진공 증착법에 의해 제작된 박막의 두께를 MBI법을 이용하여 측정하는 실험이다. 간섭무늬가 가장 선명하게 나타
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