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박막의 생산과정에서 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰인다.
4 point probe
4. 입혀진 박막의 접착력 평가(ASTM D3359-87방법에 의한)와 접착력 향상의 방법 논의
① 접착력 평가 결과 - 약 16% 이상의 격자가 떨어져 나갔으므로 ASTM D3359-87 방법에서
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대해서 설명 및 비교하여라.
(3) 박막의 특성평가 방법들의 종류와 그 원리 및 얻게 되는 정보에 대해 간단히 정리하여라.
(4) 입혀진 박막의 접착력을 ASTM D3359-87 방법에 준하여 평가하고, 접착력을 향상시킬 수 있는 방법을 논하라.
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접착력을 향상시켜 최종적으로 주파수 특성에서의 노이즈 성분에 해당하는
ripple을 줄일수 있었다.
4. 압전 웨이퍼가 Quartz 인 경우 Ti 박막의 두께가 50, 100Å일때는 삽입 손실의 변화 가 Al/Quartz 구조의 SAW Filter와 비교해 별 차이가 없으며 압
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접착력이 향상되며 증착 후 기계가공이나 연마를 할 필요가 없다.CVD법에 비해 낮은 증착온도를 필요로 하는 장점이 있다. 그리고 다른방법으로는 얻을 수 없는 합금계 박막을 얻을 수 있다.
PEPVD(plasma enhanced physical vapor deposition)
PVD의 원리와
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박막에 많은 영향을 주는 것을 알 수 있었고 또한 진공도에서 주입량이 5sccm 이하에서 제작된 박막의 투과율이 현저히 떨어졌고, 5sccm 이상에서 제작된 박막의 투과율을 좋았다. 그러나 5sccm이상의 경우에 박막의 저항이 증가하여 5sccm으로 고
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