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도금에 대해 배웠었는데, 이번시간에는 건식도금법 그중에서도 스퍼터링에 대해 배웠다.
스퍼터링은 아르곤과 같은 불활성가스 분위기에서 플라즈마를 유도한 후 이때 발생된 이온이 타겟에 충돌하면서 타겟물질을 떼어내어 기판에 증착시
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도금
3. 용융 도금
Ⅴ. 도금의 과정
Ⅵ. 전기도금
1. 장점
2. 단점
Ⅶ. 화학도금
1. 장점
2. 단점
Ⅷ. 건식도금
1. CVD(화학적 기상도금)
1) CVD의 원리
2) CVD의 특징
3) CVD장치
2. PVD(물리적 기상도금)
1) 진공증착법
2) 음극스퍼터링(cat
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건식세정, 건식도금, CFC-free 발포, 공정최적화 등
유해성 원부재료대체기술
환경친화적인 원부재료로 변경하여 오염물질의 발생을 제거또는
최소화하는 기술 - 6가 크롬 대체기술, 중금속 미사용 전지제조기술,
유기용매미사용 도료개발 등
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. 실험은 실패로 끝났지만 그래도 스퍼터링이라는 도금의 방법과 기계에 대해서 배운게 많아서 실망스럽지는 않았다. 나중에 이 실험을 다시 할 수 있는 기회가 있다면 기계에 대해서 더 많이 배우고 실험도 성공적으로 해 보고 싶다.
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스퍼터링- 음극스퍼터링(cathode sputtering)
4.4.1. 직류스퍼터링(DC sputtering)
4.4.2. 고주파 스퍼터링(RF sputtering)
4.4.3. 반응성 스퍼터링(reactive sputtering)
4.4.4. 이온빔 스퍼트링(Ion Beam Sputtering)
4.4.5. Bias Sputtering
4.5. 이온도금
4.6. 이온 빔 증착
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