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기회 일 것이다. 하지만 이번 실험을 통해서 발광물질과 진공증착에 관해서 접해보면서 이러한 과정들에 관해서 충분히 호기심을 가질수 있었던 좋은 기회였다. ◆ ◆ 1. 실험목적
◆ ◆ 2. 실험순서
◆ ◆ 3. 실험결과
◆ ◆ 4. 고 찰
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배재흠, 수원대학교 화공생명공학과
다. 기사
Vapor Phase Cleaning : How It Works and What Can Go Wrong by Jay Tourigny and Michael Jones, Micro Care Corporation, New Britain, CT USA 1. 실험주제
2. 실험목적
3. 실험장소
4. 실험기자재
5. 실험방법
6. 참고문헌
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진공 증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기 도금법, 기체 또는 액체 속의 산화법, 화합물 열분해법, 전자빔 증착법, 레이저빔 증착법 등에 의해 만들어진다. 물질은 박막상태가 되면 물리적 ·화학적 성질이 크게 변한다.
예를 들면, 불에 타지
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증착된 wafer위에 shadow mask를 밀착시켜 고정한다.
(4) Rotary Pump를 작동하여 Chamber 내부 압력을 low 10-2 torr 이하로 만든다.
(5) Diffusion Pump를 작동하여 Chamber 내부 압력을 10-5 torr 이하로 만든다.
(6) 진공도가 low 10-5 torr 이하가 되면 텅스텐 boat에 전류
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증착을 위한 진공도가 된 것이다
Geissler관의 경우 10~10 Torr 까지 측정을 할 수가 있다. 우리가 사용한 증착기에는 Ion Gauge(10~10 Torr)가 있으나 고장으로 작동이 되지 않아 Geissler관으로만 측정을 해야만 한다. 따라서 무색이 된 후에도 한참이 지
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증착 시켰으며, 이때 RF 전력은 700W로 하였다. 가스 주입전의 스퍼터 챔버의 진공도는 torr 이하로, 에 대한 유량비를 각각 0%, 1%, 2%, 4% 그리고 6%로 변화시켰다. 타겟 표면의 불순물을 제거하기 위하여 Ar가스 하에 5분간 pre-sputtering 한 후 시료의
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진공 장비의 원리를, 반도체공정 수업을 통해 8대 공정에 대한 전문지식을 익혔습니다. 3학년부터는 학부연구생으로 OO대와의 협력 프로젝트에 참여하며 실무 역량을 기르고 있습니다. 저는 학부연구생의 리더로서 기판에 금속 박막을 증착하
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진공 플라즈마에 대한 지식은 공정을 이해하는데 큰 도움이 될 것입니다.
세 번째로 반도체 공정실습에서는 Inductor역할을 하는 웨이퍼를 제작하였습니다. 이 과정에서 노광,식각,증착 등 여러 공정을 직접 진행해보면서 반도체 공정에 대한
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