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기회 일 것이다. 하지만 이번 실험을 통해서 발광물질과 진공증착에 관해서 접해보면서 이러한 과정들에 관해서 충분히 호기심을 가질수 있었던 좋은 기회였다. ◆ ◆ 1. 실험목적
◆ ◆ 2. 실험순서
◆ ◆ 3. 실험결과
◆ ◆ 4. 고 찰
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SDI
UNIST 웹진 [unist.ac.kr]
두산백과
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KAIST 기계공학과 -서론
Thermal & E-beam evaporator?
Thermal Evaporation 란?
Electron Beam Evaporation 란?
-본론
1. Thermal & E-beam evaporator 원리
2. E-beam evaporator (장치)
3. E-beam evaporator 공정 순서
-결론
-참조
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at의 무게 = 1.644g
초기 시료의 무게 = 0.049g
Boat의 무게 + 나중 시료의 무게 (실험 후 남은양) = 1.688g
W1 = 0.049g W2 = 0.044g
(5.2 × 10-3 Pa) x (20L) = (8308.65 PaL/(molK))x298K
= 4.20 x mol
(5.3 × 10-3 Pa)*(20L) = (4.20 x +)mol*(8308.65 PaL/(molK))285k
= 0.08 x mol
날아간양 = 0.049- 0.
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진공의 기초 ‘진공의 기본원리 및 응용’ / 김홍배, 손상희 著 / 전자 재료사
Vacuum Technology and Applications '진공의 원리, 발생, 계측, 리크테스트,
시스템, 응용’/ D. Hucknall
진공공학 / 배석희, 인상렬 외 3인 著 / 한국 경제 신문 출판부
진공물
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함으로 박막층이 만들어지게 하는 방법.
대표적으로 2가지 방법이 있다.
1) 스파터링(sputtering)
2) 진공증착(vacuum evaporation) 막 형성공정
1. 막 형성공정은?
2. 화학 기상 증착 (CVD)
3. 물리 기상 증착 (PVD)
4. 원자층 화학증착(ALCVD)
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