|
법이다.
≪ … 중 략 … ≫
화학적 증착법의 종류
1)열분해법
도입된 가스를 가열된 기지 위에서 열분해하여 증착층을 형성하는 방법으로 금속 할로겐화물의 고온 열분해와 수소화합물, 카르보닐 및 금속 유기염의 저온 열분
|
|
|
종류
생 성 막
형 성 방 법
반 응 가 스
절 연 막
SiO2
열CVD
SiH4, O2
SiH4, N2O
SiH4, CO2
SiH2Cl2, N2O
Si(OC2H5)4
Plasma CVD
SiH4, N2O
광 CVD
SiH4, N2O
SiH4, O2
PSG
(BPSG*)
열 CVD
SiH4, O2,PH3
(상압 B2H6*
감압 BCl3)
Plasma CVD
SiH4, N2O,PH3
(B2H6*)
광 CVD
SiH4, N2O, PH3
Si3N4
열 CVD
SiH4
|
|
|
증착법
종류
- 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
- 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD)
- 대기압 화학 기상 증착 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD) 방막증착종류
화학적 증착
물리적 기상증착
결론
|
|
|
증착법을 이용한 TiB₂박막의 저온 증착 및 접착력 향상 기술에 관한 연구 이승훈, 서울대학교 대학원, 2006. 1. 박막 증착법의 원리에 따른 구분
2. 스퍼터링 방법 종류와 그에 대한 설명 및 비교
3. 박막의 특성평가 방법들의 종류와 그
|
|
|
1. 장점
2. 단점
Ⅶ. 화학도금
1. 장점
2. 단점
Ⅷ. 건식도금
1. CVD(화학적 기상도금)
1) CVD의 원리
2) CVD의 특징
3) CVD장치
2. PVD(물리적 기상도금)
1) 진공증착법
2) 음극스퍼터링(cathode sputtering)
3) 이온도금(ion plating)
참고문헌
|
|
 |
법 ‥‥‥‥‥·‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥4
(1) 초저압 화학기상 증착법
(2) 열처리에 의한 재결정법
(3) 직접 증착법
(4) 엑시머 레이저 열처리법
ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥
|
|
|
법의 개념과 주요내용
1) 국민기초생활보장법의 개념
(1) 의의
(2) 목적
(3) 기본원칙
2) 국민기초생활보장법의 주요내용
(1) 국민기초생활보장법상의 수급권자와 수급자
(2) 국민기초생활보장법에 의한 급여의 종류와 내용
2.국민기초생
|
|
|
제 3 장. 실험 방법 30
제 1 절 기판 및 시약 준비 30
제 2 절 OTS 증착 31
제 3 절 MIS 커패시터의 제작 34
제 4 장. 실험 결과 38
제 1 절 누설전류 특성 38
제 2 절 펜타센 증착 표면 43
제 5 장. 결 론 51
참고문헌 52
Abstract 55
|
|
|
법.......4
Ⅱ. 본 론.....5
1.1 환경호르몬 소개.........5
1.1.1 어원 및 정의.........5
1.2 환경호르몬의 화학적인 분석.......6
1.2.1 화학적인 특성........6
1.2.2 화학적인 작용 및 영향.........8
1.2.3 종류........9
1.2.3.1 다이옥
|
|
|
법으로의 개정추진 19
B. 청소년활동진흥법과 아동․청소년활동진흥법의 비교 20
C. 아동․청소년활동진흥법의 문제점 및 개선방안 24
Ⅴ. 결론 26
참고문헌 28
부록 29
<부록 1> 청소년 관련법의 종류 29
<부록 2> 청소년상
|
|
 |
종류
ㄱ. 3~5% 석탄산: 배설물, 토물, 객담
ㄴ. 2.5~3.5% 과산화수소: 상처소독, 구내염, 인두염
ㄷ. 70~75% 알코올: 건강한 피부에 사용
ㄹ. 3% 크레졸: 배설물 소독
ㅁ. 0.01~0.1% 역성비누: 손소독
ㅂ. 0.1% 승홍: 손소독
ㅅ. 생석회: 변소 등의 소독
ㅇ. 0.02
|
|
 |
견해가 들어갈 것
->관심분야쪽
그리고 Cleaning공정에서 반도체 세정에 오염원의 종류, 용도에 따라 Chemical 사용이 달라집니다. 제가 그동안 배운 화학적 지식, 경험들로 올바르게 사용하여 먼지하나 없이 뒷마무리를 하겠습니다.
|
|
 |
법중 회전원판법의 장단점은 무엇인가요?
39
도화에 오기위해 또는 취업을 하기위해 이것만큼은 열심히 했다고 자랑할 만한 점 있나요?
케비테이션 현상을 극복하는 방법은 무엇인가요?
40 1. 면접경험 & 꿀팁
2. 실제 최신 면접기출(인성+
|
|
 |
리 방법과 adhesion layer 증착법이 있었는데, adhesion layer와 촉매를 하나의 장비에서 연속적으로 증착이 가능하므로 공정의 효율성을 고려하여 adhesion layer 증착법을 선택했습니다. 또한, 물질로는 OO 또는 XX이 있었는데, XX은 OO와는 다르게 촉매와
|
|
 |
증착법에서 아이디어를 얻어 연구실 내 감압장치를 활용하고 해결할 수 있었습니다. 이는 마이크로 단위 유체에서 기포를 제거하기 위해 상대적 소수성 성질을 활용할 수 있었던 성공 요인으로 뽑혔습니다. 1. 삼성전자를 지원한 이유와
|
|
메뉴펼치기
