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depth profiling)
미소(~1,000 A f)부위 조성 분석(point analysis)
2차원적인 원소 분포도 측정(image mapping)
line scanning
(6) 시료 준비
수mm X수mm크기의 얇은 조각으로 표면 polishing된 것이 좋으며, 유전체 시료는 charging 문제로 표면에 gold coating을 하기도 함.
(
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depth profiling을 하면서 위와 같은 조건하에서 식각하는 것이 잔여물이나 가스가 물질에 덜 남아있어 식각 메커니즘에 끼치는 영향이 적다는 것을 알았다.
즉 실험 결과들을 모두 종합해볼 때 식각과정에 있어 Pulse power를 인가하고 기판 온도를
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Depth profiling)
시료표면에 에너지가 큰 불활성 기체로부터 발생시킨 양이온(Ar+)을 충돌시킴으로써 표면을 분당 수 Å씩 깎아내면서 수천Å까지의 깊이에 따른 조성변화와 화학적 상태 변화를 분석하는 방법이다. 이 방법은 XPS와 AES에서만 사
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Depth profiling
시료 표면에 에너지가 큰 불활성기체로부터 발생시킨 양이온(Ar+)을 충돌시킴으로써 표면을 분당 수~수십Å씩 깍아 내면서 수 천 Å까지의 깊이에 따른 조성변화와 화학적 상태 변화를 분석하는 방법. 이온 식각은 Ion gun에 의하며
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